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  • Produktbild: Prüfverfahren zur Untersuchung der Partikelkontamination von Reinstgasversorgungskomponenten
Band 282

Prüfverfahren zur Untersuchung der Partikelkontamination von Reinstgasversorgungskomponenten

Aus der Reihe IPA-IAO - Forschung und Praxis

54,99 €

inkl. gesetzl. MwSt., Versandkostenfrei

Beschreibung

Produktdetails

Einband

Taschenbuch

Erscheinungsdatum

28.01.1999

Abbildungen

mit 79 Abbildungen 21 cm

Verlag

Springer Berlin

Seitenzahl

114

Maße (L/B/H)

21,6/14/0,7 cm

Gewicht

214 g

Sprache

Deutsch

ISBN

978-3-540-65562-6

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Einband

Taschenbuch

Erscheinungsdatum

28.01.1999

Abbildungen

mit 79 Abbildungen 21 cm

Verlag

Springer Berlin

Seitenzahl

114

Maße (L/B/H)

21,6/14/0,7 cm

Gewicht

214 g

Sprache

Deutsch

ISBN

978-3-540-65562-6

Herstelleradresse

Springer-Verlag GmbH
Tiergartenstr. 17
69121 Heidelberg
DE

Email: ProductSafety@springernature.com

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  • 0 Abkürzungen und Formelzeichen.- 1 Einleitung.- 1.1 Problemstellung.- 1.2 Zielsetzung und Vorgehensweise.- 2 Stand der Technik.- 2.1 Begriffe und Definitionen.- 2.2 Reinstgasversorgung.- 2.2.1 Reinstgase.- 2.2.2 Reinstgasversorgungssysteme.- 2.2.3 Reinstgasversorgungskomponenten.- 2.3 Künstliche Partikelerzeugung.- 2.4 Prüfung der Partikelkontamination in Reinstgasversorgungskomponenten.- 2.4.1 Partikelmeßtechnik.- 2.4.2 Prüfverfahren.- 3 Analyse der Randbedingungen für das Prüfverfahren.- 3.1 Anwendungen und Einsatzgebiete für das zu entwickelnde Prüfverfahren.- 3.2 Partikelverhalten und Systemdynamik von Reinstgasversorgungssystemen.- 3.2.1 Mechanismen der Partikelfreisetzung.- 3.2.2 Analyse der physikalischen Phänomene des Partikeltransports.- 3.3 Prüfobjekte und notwendige Prüfrandbedingungen.- 3.4 Betriebsbedingungen in Reinstgasversorgungssystemen.- 3.5 Partikelmeßtechnik.- 3.5.1 Probenahme.- 3.5.2 Partikelzählung.- 3.5.3 Partikelanalyse.- 3.5.4 Erzeugung von Partikelaerosolen.- 4 Anforderungen an das zu entwickelnde Prüfverfahren.- 5 Entwicklung der Prüfaufbauten.- 5.1 Basisprüfauf bauten.- 5.2 Entwicklung der Teilmodule.- 5.2.1 Modul Gasaufbereitung.- 5.2.2 Modul Komponentenaktivierung.- 5.2.3 Modul Meßtechnik.- 5.3 Herleitung testkomponentenspezifischer Prüfaufbauten.- 6. Entwicklung der Prüfmethode.- 6.1 Entwicklung der Standardprüfmethode.- 6.1.1 Entwicklung der einzelnen Prüfphasen.- 6.1.2 Bestimmung der Meßintervalle und Taktfrequenzen.- 6.1.3 Standardprüfabläufe für verschiedene Prüfobjekte.- 6.2 Entwicklung von Sonderprüfungen.- 6.2.1 Ermittlung des optimalen Betriebspunktes.- 6.2.2 Verhalten im Dauerbetrieb.- 6.3 Auswertung und Darstellung der Meßdaten.- 6.3.1 Auswertung.- 6.3.2 Darstellung.- 7. Umsetzung und Erprobung des Verfahrens an ausgewählten praxisbezogenen Anwendungen.- 7.1 Handhabung des Prüfstandes.- 7.1.1 Allgemeine vorbereitende Maßnahmen.- 7.1.2 Inbetriebnahme und Stillegung des Prüfstandes.- 7.2 Ausgewählte praxisbezogene Anwendungen des Prüfverfahrens.- 7.2.1 Qualifizierung und Anwendung in der Qualitätssicherung.- 7.2.2 Anwendung zur Weiterentwicklung von Reinstgasversorgungskomponenten.- 7.2.3 Anwendung zur Bestimmung des optimalen Betriebspunktes.- 7.3 Bewertung der Anwendbarkeit des Verfahrens.- 8. Zusammenfassung und Ausblick.- 8.1 Zusammenfassung.- 8.2 Ausblick.- 9. Schrifttum.