Neuartiges Bauteilkonzept quasistatisch-resonanter 2D-Mikroscanner für die Zielanwendung ultrakompakter Laserprojektionsdisplays
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- Deutsch ausgewählt
44,80 €
inkl. gesetzl. MwSt.,
Beschreibung
Produktdetails
Einband
Taschenbuch
Erscheinungsdatum
07.05.2012
Abbildungen
mit 51 Farbabbildungen
Verlag
TUDpressSeitenzahl
164
Maße (L/B/H)
21/14,8/1,1 cm
Gewicht
247 g
Auflage
1. Auflage
Sprache
Deutsch
ISBN
978-3-942710-70-1
Kapitel 4 befasst sich mit den theoretischen Grundlagen des statischen und dynamischen Bauteilverhaltens. Den Schwerpunkt bilden neuartige Makromodellierungsansätze zur Erfassung der elektrostatischen, elektromechanisch gekoppelten und fluiddynamischen Domäne bei geringem Modellierungs- und Rechenaufwand.
Die hieraus abgeleiteten Modelle werden in Kapitel 5 verwendet um die Eignung alternativer Elektrodengeometrien und Anordnungen zu untersuchen und gegenüberzustellen. Besonders effiziente, neuartige CAVC-Antriebselektroden werden vorgestellt. Kapitel 6 umfasst die Bauteiltechnologie.
Der Fokus liegt auf dem für das Aufbaukonzept und die Realisierung vertikaler Kammantriebe zentralen, adhäsiven Waferbondverfahren mittels Benzocyclobuten (BCB). Kapitel 7 stellt ausgewählte Demonstratoren mit ihren charakteristischen Eigenschaften vor. Kapitel 8 befasst sich mit Heuristiken zur Steuerung und Regelung der nichtlinearen Regelstrecke sowie deren Eignung für die Strahlsteuerung und lineares Scannen.
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