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  • Produktbild: Prüfverfahren zur Untersuchung der Partikelreinheit technischer Oberflächen
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Band 182

Prüfverfahren zur Untersuchung der Partikelreinheit technischer Oberflächen

Aus der Reihe IPA-IAO - Forschung und Praxis

74,99 €

inkl. gesetzl. MwSt., Versandkostenfrei

Beschreibung

Produktdetails

Einband

Taschenbuch

Erscheinungsdatum

10.09.1993

Verlag

Springer Berlin

Seitenzahl

107

Maße (L/B/H)

21,6/14/0,7 cm

Gewicht

195 g

Sprache

Deutsch

ISBN

978-3-540-57302-9

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Einband

Taschenbuch

Erscheinungsdatum

10.09.1993

Verlag

Springer Berlin

Seitenzahl

107

Maße (L/B/H)

21,6/14/0,7 cm

Gewicht

195 g

Sprache

Deutsch

ISBN

978-3-540-57302-9

Herstelleradresse

Springer-Verlag GmbH
Tiergartenstr. 17
69121 Heidelberg
DE

Email: ProductSafety@springernature.com

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  • 1 Einleitung.- 1.1 Problemstellung.- 1.2 Zielsetzung und Vorgehensweise.- 2 Stand der Technik.- 2.1 Begriffe und Definitionen.- 2.1.1 Partikel.- 2.1.2 Technische Oberflächen.- 2.1.3 Oberflächenreinheit.- 2.2 Ursachen für die Verunreinigung von Oberflächen.- 2.3 Oberflächen in unmittelbarer Produktumgebung.- 2.4 Verfahren zur Prüfung der Partikelreinheit technischer Oberflächen.- 3 Analyse der Randbedingungen zur Prüfung der Partikelreinheit technischer Oberflächen.- 3.1 Analyse der Beurteilungsmerkmale für Partikel.- 3.2 Eingesetzte Oberflächen.- 3.3 Beurteilungskriterien für die Oberflächenreinheit.- 3.4 Analyse der verfügbaren Partikelmeßtechnik.- 4 Ableitung von Entwicklungsschwerpunkten.- 4.1 Anforderungen an die Prüfeinrichtung.- 4.2 Anforderungen an eine zu entwickelnde Prüfmethode.- 5 Konzeption und Realisierung einer Prüfeinrichtung zur Beurteilung der Partikelreinheit technischer Oberflächen.- 5.1 Konzeption einer Prüfeinrichtung.- 5.1.1 Bewertung der Partikelmeßverfahren.- 5.1.2 Varianten von Prüfkonzepten.- 5.2 Konzeption und Entwicklung von Funktionsgruppen.- 5.2.1 Beleuchtungs- und Detektionssystem.- 5.2.2 Bildverarbeitungs- und Auswertesystem.- 5.3 Realisierung.- 5.3.1 Eingesetzte und optimierte Funktionsgruppen.- 5.3.2 Funktionsablauf und Architektur.- 5.3.3 Optimierung der gerätetechnisch bedingten Meßfehler.- 5.4 Minimal nachweisbare Partikelgrößen auf idealen Oberflächen.- 6 Entwicklung einer Prüfmethode.- 6.1 Auswahl von Testoberflächen.- 6.2 Definierte Verunreinigung der Testoberflächen.- 6.3 Detektionsrandbedingungen für die Prüfmethode.- 6.4 Erarbeitung der Prüfmethode.- 6.4.1 Optimierung der Zahl von Kalibrierpunkten.- 6.4.2 Bestimmung der Orte der Probenahme.- 6.4.3 Anzahl der Meßpunkte.- 6.4.3.1 Abhängigkeit der Partikelkonzentration.- 6.4.3.2 Abhängigkeit der Partikelgrößenverteilung.- 6.4.3.3 Abhängigkeit der Partikelhäufigkeitsverteilung.- 6.4.4 Bestimmung der notwendigen Zahl von Wiederholungsprüfungen.- 6.4.5 Art und Umfang der Probenahme zum Einsatz der Prüfmethode.- 7 Anwendung des Verfahrens in realen Einsatzfällen.- 7.1 Untersuchung der Eignung des Verfahrens zur Fertigungsüberwachung.- 7.1.1 Untersuchung zum Nachweis der Partikelablagerung durch geräteinterne Baugruppen.- 7.1.2 Untersuchung zum Nachweis der Partikelablagerung in einer flüssigen Umgebung.- 7.2 Qualitätssicherung durch Reinigung technischer Oberflächen.- 7.2.1 Versuchsrandbedingungen.- 7.2.2 Ergebnisse.- 7.3 Bewertung der Anwendbarkeit des Verfahrens.- 8 Zusammenfassung und Ausblick.- 9 Literatur.