Polysilizium-Heaterstrukturen für den Einsatz in hochbeschleunigten Zuverlässigkeitstests auf Waferebene
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Sprache:Deutsch
42,95 €
inkl. gesetzl. MwSt.,
Beschreibung
Produktdetails
Einband
Taschenbuch
Erscheinungsdatum
23.09.2012
Abbildungen
mit 12 Farbabbildungen
Verlag
GRINSeitenzahl
76
Maße (L/B/H)
21/14,8/0,6 cm
Gewicht
124 g
Auflage
2. Auflage
Sprache
Deutsch
ISBN
978-3-656-27670-8
Bachelorarbeit aus dem Jahr 2011 im Fachbereich Elektrotechnik, Note: 1, Hochschule Mittweida (FH) (Elektro- und Informationstechnik), Sprache: Deutsch, Abstract: Diese Bachelorarbeit soll die Grundlage für hochbeschleunigte Zuverlässigkeitstests auf Waferebene unter Verwendung von In-Situ-Heizelementen aus polykristallinem Silizium bilden. Nach einer Einführung in die Zuverlässigkeitstheorie wird eine Auswahl an Zuverlässigkeitstest vorgestellt. Diese sind momentan, durch den Einsatz von Hot-Chuck's, noch recht zeitaufwändig und verlangen daher nach einer alternativen Wärmequelle. Der in dieser Arbeit vorgestellte Ausweg beschreibt einen Polysilizium-Widerstand direkt in der zu beheizenden Struktur. Weiterhin wird die Wärmeausbreitung durch thermische Simulationen dargestellt. Am Ende dieser Arbeit wird noch die mögliche Temperaturmessung an solchen Teststrukturen vorgestellt.
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