Modeling of Chemical Vapor Deposition of Tungsten Films
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53,49 €
inkl. gesetzl. MwSt.,
Beschreibung
Produktdetails
Einband
Taschenbuch
Erscheinungsdatum
20.11.2013
Abbildungen
139 p.
Verlag
Springer BaselSeitenzahl
139
Maße (L/B/H)
22,9/15,2/0,8 cm
Gewicht
215 g
Sprache
Englisch
ISBN
978-3-0348-7743-5
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