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Produktbild: Fertigung von Mischlosen in der Mikroelektronik auf der Basis eines Verfahrens zur Verfolgung von Einzelscheiben
Band 255

Fertigung von Mischlosen in der Mikroelektronik auf der Basis eines Verfahrens zur Verfolgung von Einzelscheiben

Aus der Reihe IPA-IAO - Forschung und Praxis

79,99 €

inkl. gesetzl. MwSt., Versandkostenfrei

Beschreibung

Produktdetails

Einband

Taschenbuch

Erscheinungsdatum

29.10.1997

Abbildungen

mit 61 Abbildungen

Verlag

Springer Berlin

Seitenzahl

123

Maße (L/B/H)

21/14,8/0,8 cm

Gewicht

177 g

Auflage

1997

Sprache

Deutsch

ISBN

978-3-540-63563-5

Beschreibung

Produktdetails

Einband

Taschenbuch

Erscheinungsdatum

29.10.1997

Abbildungen

mit 61 Abbildungen

Verlag

Springer Berlin

Seitenzahl

123

Maße (L/B/H)

21/14,8/0,8 cm

Gewicht

177 g

Auflage

1997

Sprache

Deutsch

ISBN

978-3-540-63563-5

Herstelleradresse

Springer-Verlag GmbH
Tiergartenstr. 17
69121 Heidelberg
DE

Email: ProductSafety@springernature.com

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  • Produktbild: Fertigung von Mischlosen in der Mikroelektronik auf der Basis eines Verfahrens zur Verfolgung von Einzelscheiben

  • 1 Einleitung.- 1.1 Problemstellung.- 1.2 Zielsetzung.- 2 Stand der Technik.- 2.1 Begriffe und Definitionen.- 2.2 Flexible Halbleiterfertigung.- 2.3 Fertigungsgeräte und Materialfluß.- 2.3.1 Losdefinition und Materialfluß auf Geräteebene.- 2.3.2 Geräteinterner Materialfluß.- 2.4 Informationsverarbeitung in der Fertigung.- 2.4.1 Informationssysteme auf operativer Ebene.- 2.4.2 Werkstattsteuerung.- 3 Einflüsse auf die wirtschaftliche Fertigung flexibler Losgrößen.- 3.1 Einfluß der Prozeßtechnik.- 3.2 Einfluß der Gerätetechnik.- 3.3 Einfluß der Werkstattsteuerung.- 3.4 Einfluß von Informationssystemen auf operativer Ebene.- 3.5 Lösungsansätze zur wirtschaftlichen Fertigung flexibler Losgrößen.- 3.6 Zusammenfassung der Untersuchungsergebnisse.- 4 Ableitung der Entwicklungsschwerpunkte.- 4.1 Anforderungen an das Verfahren zur Mischlosbildung.- 4.2 Anforderungen an ein System zur Einzelscheibenverfolgung.- 5 Konzeption eines Verfahrens zur Mischlosbildung.- 5.1 Modellierung der operativen Ebene.- 5.1.1 Modell des Loses.- 5.1.2 Fertigungsgerät.- 5.1.3 Arbeitsablauf am Fertigungsgerät.- 5.1.4 Randbedingungen für die Bewertung des Nutzens.- 5.2 Arbeitsprinzip der Mischlosverwaltung.- 5.2.1 Ein-/Ausgangsgrößen für die Mischlosbildung.- 5.2.2 Algorithmus zur Mischlosbildung.- 5.2.3 Basisregelsystem für die Mischlosgründung.- 5.2.4 Basisregelsystem für die Mischlostrennung.- 5.3 Aufbaustruktur des Verfahrens zur Mischlosbildung.- 5.3.1 Abbildung der Mischlose.- 5.3.2 Abbildung von Monitorscheiben.- 5.4 Ablaufstruktur des Verfahrens zur Mischlosbildung.- 5.4.1 Ablauf von Mischlosbildung und -trennung.- 5.4.2 Gesamtablauf.- 5.5 Funktionale Defizite auf operativer Ebene.- 6 Entwicklung eines Systems zur Einzelscheibenverfolgung.- 6.1 Materialverwaltung.- 6.1.1 Prüfung der Arbeitsplandaten vor Bearbeitung eines Mischloses.- 6.1.2 Aktualisieren von Loshistorie und Gerätehistorie.- 6.1.3 Interne Struktur der Materialverwaltung.- 6.2 Umhordetechnik.- 6.2.1 Be-/Entladevorgang.- 6.2.2 Umhordeprozeduren.- 6.3 Schnittstelle zur Identifikation.- 6.3.1 Übertragungsart.- 6.3.2 Kennzeichnung und Laufkarte.- 6.4 Schnittstelle zur Gerätetechnik.- 6.4.1 Bearbeitung von Mischlosen.- 6.4.2 Bedienerunterstützung am Gerät.- 6.5 Schnittstelle zur Werkstattsteuerung.- 6.5.1 Abbildung von Mischlosen in der Werkstattsteuerung.- 6.5.2 Ausführung der Schnittstelle.- 6.5.3 Einzelscheibenverfolgung als Teil der Werkstattsteuerung.- 6.6 Systemstruktur.- 6.6.1 Funktionsaufteilung auf operativer Ebene.- 6.6.2 Systemkomponenten und Werkzeuge für die Realisierung.- 7 Realisierung und Erprobung.- 7.1 Vorversuche zum Verfahren zur Mischlosbildung.- 7.2 Realisierung des Systems zur Einzelscheibenverfolgung.- 7.2.1 Randbedingungen.- 7.2.2 Entwurf der Architektur und Realisierung.- 7.2.3 Erprobung.- 7.3 Diskussion der Ergebnisse.- 8 Zusammenfassung und Ausblick.- 9 Literatur.