Beiträge zum Verständnis des sauren nasschemischen Ätzens von Silicium Das System Flusssäure-Salpetersäure-Schwefelsäure/Wasser
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- Deutsch ausgewählt
79,90 €
inkl. gesetzl. MwSt.,
Beschreibung
Produktdetails
Einband
Taschenbuch
Erscheinungsdatum
27.11.2014
Verlag
Südwestdeutscher Verlag für HochschulschriftenSeitenzahl
180
Maße (L/B/H)
22/15/1,2 cm
Gewicht
286 g
Auflage
1. Auflage
Sprache
Deutsch
ISBN
978-3-8381-3962-3
Der Siliciumauflöseprozess in Flusssäure-Salpetersäure-Schwefelsäure/Wasser-Lösungen unterscheidet sich vom Ätzprozess in Flusssäure-Salpetersäure-Wasser-Standardmischungen in Bezug auf die Reaktivität gegenüber Silicium, erzielte Oberflächenmorpholgien sowie die beim Ätzen entstehenden gelösten und gasförmigen Produkte. Die Behandlung von Siliciumwafern in Schwefelsäure-reichen Ätzlösungen erzeugt Texturen mit hoher Rauigkeit und geringer Reflexion. mc-Si-Solarzellen texturiert durch eine Schwefelsäure-reiche Ätzlösung weisen vergleichend zu Solarzellen mit Standardtexturen höhere Wirkungsgrade auf. Spektroskopische Untersuchungen zeigen, dass sowohl das Salpetersäuremolekül als auch das Nitrylion am Siliciumauflöseprozess beteiligt sind. Das vorliegende Werk beschreibt zudem die erstmalige Identifizierung von Trifluorsilan und Hexafluordisiloxan als gasförmige Produkte des sauren nasschemischen Ätzens von Silicium.
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