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Ion Beams in Materials Processing and Analysis

195,99 €

inkl. gesetzl. MwSt., Versandkostenfrei

Beschreibung

Produktdetails

Einband

Taschenbuch

Erscheinungsdatum

28.11.2014

Abbildungen

IX, 418 p.

Verlag

Springer Wien

Seitenzahl

418

Maße (L/B/H)

23,5/15,5/2,4 cm

Gewicht

645 g

Auflage

2013

Sprache

Englisch

ISBN

978-3-7091-1733-0

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Taschenbuch

Erscheinungsdatum

28.11.2014

Abbildungen

IX, 418 p.

Verlag

Springer Wien

Seitenzahl

418

Maße (L/B/H)

23,5/15,5/2,4 cm

Gewicht

645 g

Auflage

2013

Sprache

Englisch

ISBN

978-3-7091-1733-0

Herstelleradresse

Springer-Verlag KG
Sachsenplatz 4-6
1201 Wien
AT

Email: ProductSafety@springernature.com

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  • Preface.- 1. Introduction.- 2. Ion- Solid Interactions.- 2.1 Fundamental Principles.- 2.2 Binary Elastic Collisions.- 2.3 Ion Stopping.- 2.4 Ion Channeling.- 2.5 Ion Induced Target Modifications.- 3. Ion Beam Technology.- 3.1 Principles of Ion Accelerators.- 3.2 Ion Sources.- 3.3 Ion Acceleration.- 3.4 Ion Beam Handling.- 3.5 Ion Implantation Systems.- 3.6 Electrostatic Ion Accelerator Systems.- 3.7 Focused Ion Beam Systems.- 4. Materials Processing.- 4.1 Ion Irradiation Effects in Crystalline Materials.- 4.2 Ion Implantation into Semiconductors.- 4.3 Ion Beam Synthesis of New Phases in Solids.- 4.4 Ion Beam Mixing of Interfaces.- 4.5 Ion Beam Slicing of Thin Layers (Smart-Cut for SOI and Solar Cells).- 4.6 Ion Beam Erosion, Sputtering and Surface Patterning (Ripples and Dots).- 4.7 Ion Beam Shaping of Nanomaterials.- 4.8 Ion Beam Processing of other Materials.- 5. Ion Beam Preparation of Materials.- 5.1 Removal of Target Atoms by Sputtering.- 5.2 Effects on Sputtering Yield.- 5.3 Preparation Steps by Ion Beam Irradiation.- 5.4 Focus Ion Beam (FIB) Preparation.- 6. Ion Beam Analysis by Ion Beams.- 6.1 Introduction.- 6.2 Ion Beam Analytical Techniques – a Survey.- 6.3 Ion Beam Scattering Techniques.- 6.4 Ion Beam Induced Photon Emission.- 6.5 Nuclear Reaction Analysis (NRA).- 6.6 Ion Beam Induced Electron and Light Emission.- 6.7 Secondary Ion Emission.- 6.8 Ion Beam Imaging Techniques.- 7. Special Ion Beam Applications in Materials Analysis Problems.- 7.1 Functional ThinFilms and Layers.- 7.2 Ion Beam Analysis in Art and Archeometry.- 7.3 Special Applications in Life Sciences.- Index.