Optische Schichtdickenmessung mit miniaturisierten Spektrometern
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- eBook
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Sprache:Deutsch
36,00 €
inkl. gesetzl. MwSt.,
Beschreibung
Produktdetails
Einband
Taschenbuch
Erscheinungsdatum
16.04.2015
Abbildungen
mit 2 Farbabbildungen
Verlag
BoD – Books on DemandSeitenzahl
184
Maße (L/B/H)
29,7/21/1,2 cm
Gewicht
552 g
Auflage
1. Auflage
Sprache
Deutsch
ISBN
978-3-7347-8386-9
Die optische Schichtdickenmessung mit miniaturisierten Spektrometern ist eine schnelle, zerstörungs- und berührungslose Methode zur Bestimmung der Dicke dünner Schichten, die sogar zur In-Prozess Kontrolle von Schichtdicken verwendet werden kann. Dieses Buch führt in die optische Schichtdickenmessung mit miniaturisierten Spektrometern ein und beleuchtet die Einflüsse von Dispersion, Absorption und Substrat auf die Bestimmung der Schichtdicke. Desweiteren werden Messaufbau, Messgrößen, Berechnungsmodelle und Auswertemethoden vorgestellt und bewertet.
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