Gasflussgesputterte Wärmedämmschichten
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Sprache:Deutsch
75,00 €
inkl. gesetzl. MwSt.,
Beschreibung
Produktdetails
Einband
Taschenbuch
Erscheinungsdatum
01.11.2016
Verlag
Cuvillier VerlagSeitenzahl
310
Maße (L/B/H)
21/14,8/1,7 cm
Gewicht
403 g
Sprache
Deutsch
ISBN
978-3-7369-9386-0
In dieser Arbeit wird ein alternatives Beschichtungsverfahren (Gasflusssputtern – GFS) untersucht, indem die Prozessparameter (Substrattemperatur, Bias-Spannung, Druck, Sauerstofffluss, Substratoberfläche) gezielt bei der Herstellung von Zirconiumdioxid-Schichten variiert und die entstehenden Mikrostrukturen charakterisiert werden.
Um die Schichten hinsichtlich ihrer Eignung als Wärmedämmschicht zu untersuchen, wurden ausgewählte Schichten thermisch zykliert. Es werden zwei Schädigungsmechanismen beobachtet, die abhängig von der Mikrostruktur auftreten.
Insgesamt konnten in dieser Arbeit mittels GFS vielfältige Mikrostrukturen hergestellt werden, von denen drei besonders vielversprechend für die spätere Anwendung erscheinen.
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