Microlithography Science and Technology
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Sprache:Englisch
264,99 €
inkl. gesetzl. MwSt.,
Beschreibung
Produktdetails
Einband
Gebundene Ausgabe
Erscheinungsdatum
20.05.2020
Abbildungen
schwarz-weiss Illustrationen, Tabellen, schwarz-weiss
Herausgeber
Smith Bruce W. + weitereVerlag
Taylor and FrancisSeitenzahl
852
Maße (L/B/H)
26/18,3/5 cm
Gewicht
1765 g
Auflage
3. Auflage
Sprache
Englisch
ISBN
978-1-4398-7675-6
Like the bestselling original, this third edition of Microlithography is a self-contained text detailing both elementary and advanced aspects of submicron microlithography, offering a balanced treatment of theoretical and operating practices.
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