Differentieller Mikrowellen-Leistungsoszillator für die Realisierung ultrakompakter Plasmaquellen in Matrixanordnung
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Sprache:Deutsch
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inkl. gesetzl. MwSt.Beschreibung
Produktdetails
Format
Kopierschutz
Nein
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Ja
Text-to-Speech
Nein
Erscheinungsdatum
12.06.2017
Verlag
Cuvillier Verlag eBooksSeitenzahl
136 (Printausgabe)
Dateigröße
3245 KB
Sprache
Deutsch
EAN
9783736985308
Infolge der substanziellen Platzeinsparung gegenüber konventionellen Generatorkonzepten eröffnen sich damit neue technologische Perspektiven. Ein zentrales Einsatzgebiet stellt die Anregung von Mikrowellenplasma dar, welches verschiedene günstige Eigenschaften für die Prozesstechnik bietet wie etwa die Behandlung großer Flächen. Kompakte Leistungsoszillatoren sind Grundlage für hochintegrierte Plasmaquellenmodule, die sich matrixförmig anordnen und auf große Areale ausdehnen lassen. Mit HF-Leistungshalbleitern des Ferdinand-Braun-Instituts wurde eine derartige Matrixplasmaquelle umgesetzt. Ihre Funktionsfähigkeit konnte anhand der Abscheidung dünner, hochpräziser Schichten aus Aluminiumoxid gezeigt werden.
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