Mikromechanik

Inhaltsverzeichnis

1 Bedeutung und Inhalte der Mikromechanik.- 2 Werkstoffe der Mikromechanik.- 3 Reinraumtechnik.- 4 Technologie der Mikromechanik.- 5 Meßmethoden.- 6 Anwendungen der Mikromechanik.- 7 Mikrosystemtechnik.

Mikromechanik

Einführung in Technologie und Anwendungen

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Mikromechanik

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Beschreibung

Details

Einband

Taschenbuch

Erscheinungsdatum

01.11.1990

Verlag

Vieweg & Teubner

Seitenzahl

240

Maße (L/B/H)

21,6/14/1,4 cm

Beschreibung

Details

Einband

Taschenbuch

Erscheinungsdatum

01.11.1990

Verlag

Vieweg & Teubner

Seitenzahl

240

Maße (L/B/H)

21,6/14/1,4 cm

Gewicht

313 g

Auflage

1991

Reihe

Angewandte Physik

Sprache

Deutsch

ISBN

978-3-519-03071-3

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