Wafer Fabrication Automatic Material Handling System
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Produktdetails
Format
ePUB
Kopierschutz
Nein
Family Sharing
Nein
Text-to-Speech
Ja
Erscheinungsdatum
24.09.2018
Verlag
De Gruyter OldenbourgSeitenzahl
284 (Printausgabe)
Dateigröße
15390 KB
Auflage
1. Auflage
Sprache
Englisch
EAN
9783110487237
This book systematically introduces modeling, performance evaluation and applications of Automatic Materiel Handling System (AMHS) in semiconductor manufactucing, and focuses discussion on the coordination of two subsystems. Resources dispatch and optimization are conducted on operational research combined with cases studies. Written in a practical way, it is an essential reference for researchers and engineers in manufacturing and management.
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