Entwicklung hochleistungsfähiger ohmscher MEMS-Schalter auf Basis eines neuartigen Aktorkonzeptes
-
- Deutsch ausgewählt
69,99 €
inkl. gesetzl. MwSt.,
Beschreibung
Produktdetails
Einband
Taschenbuch
Erscheinungsdatum
12.10.2020
Abbildungen
mit 78 Farbabbildungen
Verlag
BoD – Books on DemandSeitenzahl
184
Maße (L/B/H)
21/14,8/1,2 cm
Gewicht
275 g
Auflage
2. Auflage
Sprache
Deutsch
ISBN
978-3-7526-0861-8
Im Rahmen dieser Dissertation wurden daher neuartige ohmsche MEMS-Schalter entwickelt, welche die vorherrschenden Probleme existierender Schalter in mehrerlei Hinsicht beheben. Die Grundlage bildet ein hocheffizientes Aktorkonzept, das durch einen kombinierten piezoelektrisch-elektrostatischen Antrieb sowie die gezielte Ausnutzung von mechanischen Versteifungseffekten selbst bei starker Miniaturisierung hervorragende Schaltereigenschaften ermöglicht. So verfügen die lediglich 0,05 mm² bis 0,12 mm² großen und vollständig in siliziumbasierter Oberflächenmikromechanik realisierten Schalter je nach Design über sehr geringe Durchgangswiderstände von 0,32 Ohm bis unter 0,12 Ohm. Darüber hinaus zeichnen sie sich im Sperrzustand durch hohe Kontaktabstände von 4 µm bis 9 µm aus und weisen niedrige Schaltzeiten von designabhängig 1,5 µs bis 5,6 µs auf. Ferner zeigen die Schalter selbst unter extremen Bedingungen wie dem lastbehafteten Schalten hoher DC-Signalleistungen eine hohe Zuverlässigkeit im Bereich mehrerer 1e7 bis 1e8 Zyklen. Insgesamt setzen sich die Schaltereigenschaften damit deutlich vom Stand der Technik ab und zeigen eine Gesamtleistungsfähigkeit, wie sie aktuell von keinem anderen MEMS-Schalter erreicht wird.
Ein neues Kapitel für Ihre Bücher
Ein neues Kapitel für Ihre Bücher
Schenken Sie Ihren alten Schätzen ein zweites Leben und erhalten Sie dafür eine Thalia Geschenkkarte.
Noch keine Bewertungen vorhanden
Verfassen Sie die erste Bewertung zu diesem Artikel
Helfen Sie anderen Kundinnen und Kunden durch Ihre Meinung.
Kurze Frage zu unserer Seite
Vielen Dank für Ihr Feedback
Wir nutzen Ihr Feedback, um unsere Produktseiten zu verbessern. Bitte haben Sie Verständnis, dass wir Ihnen keine Rückmeldung geben können. Falls Sie Kontakt mit uns aufnehmen möchten, können Sie sich aber gerne an unseren Kund*innenservice wenden.
zum Kundenservice