1. Einführung.- 2. Die Beobachtungen.- 2.1 Das Plattenmaterial.- 2.2 Die Aufnahmen.- 2.3 Ausmessung am Komparator.- 3. Das Auswerteverfahren.- 3.1 Auswertung der Komparatormessungen.- 3.2 Die Plattenreduktion.- 3.3 Statistische Restfehleranalyse.- 4. Ergebnisse und Folgerungen.- 4.1 Beurteilung der Meßgenauigkeit.- 4.2 Schichtverzug aus Kontaktkopien.- 4.3 Schichtverzug aus den Restfehlern der Plattenreduktion.- 4.4 Schlußfolgerungen.- 5. Literatur.- 6. Anhang.